產(chǎn)品與應用 / Technology
電子級超純水設備
美國材料實(shí)驗學(xué)會(huì )(ASTM)1983、1990年頒發(fā)的電子級水質(zhì)標準,已不能適應超大規模集成電路迅速發(fā)展需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴格的水質(zhì)指標。Bolindustry膜分離事業(yè)部,專(zhuān)業(yè)為半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線(xiàn)路板、光電器件、微電子工業(yè)、大規模集成電路行業(yè),提供生產(chǎn)所需純水、高純水、超純水工藝設計及成套設備。
● 系統產(chǎn)水符合國家《GB/T 11446.1-2013電子級水》標準;
● 采用先進(jìn)的全膜法工藝,實(shí)現更小占地面積,及高度自動(dòng)化運行;
● 實(shí)現電阻率≥18.3MΩ的超純水制備;
● 對產(chǎn)水TOC處理:≤5μg/l;
● 系統產(chǎn)水符合國家《GB/T 11446.1-2013電子級水》標準;
● 主配置采用DOW陶氏膜元件、西門(mén)子EDI、DOWEX拋光樹(shù)脂,以及Aquafine UV及TOC裝置。